硅片回收
效率始于

材料

供应瓶颈、需求多样化,同时成本激增:硅或砷化镓等高品质材料是半导体工业的关键,但也是敏感之处。随着衬底直径不断变大,材料正在成为一个日益严峻的挑战,难怪如今许多硅片厂都对测试用硅片采取统一的回收策略。高效的回收和再利用需要可测量的可靠性

  • 分拣、剥离、研磨、抛光、清洁:以工艺可靠的方式,测量各个回收步骤。
  • 面向回收及再利用的经济高效、可重复的测量系统
  • 先进的个性化自动化解决方案
  • 特殊材料:玻璃、石英、砷化镓等
  • 高效工具,硅片吞吐量高达每小时1000片
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硅片回收
效率的演(变)革

新冠大流行让半导体行业不得不痛苦地面对一个根本性问题:

材料成本难以控制,供应链容易中断,决定了市场动态。

硅片和芯片生产成本极高,尤其能够受益于对昂贵半导体材料的回收和再利用。

E+H Metrology不只将自己视为高科技专家,我们的任务还包括与您合作,助力您的生产流程更加高效:

  • 规格的重要性我们提供高效的瘦身型测量系统,适用于尺寸>50毫米至450毫米的所有硅片。
  • 材料的重要性:我们的测量设备是高电阻材料的理想选择。
  • 流程效率的重要性:提高产量的同时,将维护工作保持在极低水平——我们的专家能够与您密切合作,开发极为高效的测试及测量流程。54年以来,我们能够与客户保持密切联系,这令我们深感自豪:请接受我们对您的回收工艺的承诺。
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应用

表面

波纹度和粗糙度
线切痕
纳米形貌
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⼏何

厚度
TTV(总厚度变化)
翘曲度及弯曲度
薄膜应⼒
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电气性能

电阻率
表面电阻
P/N标注
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"咨询非常重要。这让我们在与E+H Metrology合作时,总能找到解决方案,哪怕是针对一些非常特殊的要求。"

客户· 摘自2021年E+H customer & partner survey(E+H客户及合作伙伴调研)

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我们能为您做些什么?
欢迎联系我们的团队

您还有问题或疑问?我们将非常乐意为您提供个性化建议。

Peter Michel先生

电话 +49 (0)721 83118-17

sales(at)eh-metrology.com

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