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用于 150 毫米以下半绝缘晶片的快速非接触式电阻率测量仪。
MX601 可测量砷化镓或碳化硅等半绝缘材料晶片的电阻率。无需制备晶片即可快速操作，具有出色的可重复性，能最大程度地避免压电效应。MX601 的串行接口允许进行数据评估和统计，以及访问校准常数和输出类型。
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