MX 3012

应用

适用于 75-300mm 硅晶片的简易单点测厚仪。

MX3012 是一款坚固耐用、性能稳定的仪器,用于快速、简单地手动测量各种硅晶片的厚度。可在几秒钟内适应不同的厚度范围。轻松一键校准。内置 5 位数字显示屏。可独立工作,也可通过串行接口连接到 PC,从而收集多个测量数据,计算单个晶片或整批晶片的平整度(TTV)、平均值或标准偏差。


测量类型

厚度

特点

晶片直径 最大 300 毫米
精度 ±0.5µm
分辨率 10nm
动态范围 800 微米
厚度范围 默认 200 - 1000 µm
可切换测量高分辨率材料
软件 EHMaster

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