METROLOGY 机器人分拣机
高端定制

您的需求 - 您的工具。我们的机器人分拣机采用完全模块化的设计原则:通过我们久经考验的 MX 系统进行单独的在线测量、全自动机器人分拣、校准器和承载站、轨道、盒式分拣站等。安全、可重复性和极低的维护时间始终是我们的首要任务。而这一切都离不开超高的吞吐量。

  • 在一个系统中完成所有测量和要求,最大功率可达 200 WPH
  • 灵活集成所需组件
  • 使用寿命长,维护成本低
  • 极短的生产时间,个性化支持
  • 几乎所有类型的晶片:150-200 毫米、300 毫米、Taiko 等
  • 国际校准标准、SEMI 标准
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优势和特点

我们的机器人分拣机可完全满足您的工艺要求。不过,它们都有一些共同的优点:

  • 坚固、安全:20 多年的模块化系统经验告诉我们:安全是无法改装的。因此,我们所有的机器人分拣机都非常坚固和安全。
  • 高效率:我们的所有设备都具有高吞吐量。此外,我们还具有结果重现性高、培训和人员要求极低的优势。
  • 经济实惠:产品成本低,系统和所有组件的使用寿命极长,因此性价比最高。
  • 可集成:我们的所有机器人分拣机都能快速、轻松地集成到您的生产线中。
  • 咨询和支持:对于许多供应商来说,系统购买后,双方的合作关系就结束了。而 E+H 则不同:我们经验丰富的当地分销商可为您提供快速、简便的支持;我们在德国的经验丰富的工程师团队还可帮助您进行规划并提供专业建议、培训课程和产品信息。
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组件和模块

有哪些模块?非常简单:我们能满足您的需求。符合最高标准:您的要求!当然还有国际校准标准。以下是目前已安装模块和应用的几个示例:

  • 测量模块:E+H 的许多标准 MX 量具都可用于机器人分拣机,例如:MX 10x 系列(厚度测量)、MX 20x 系列(几何形状/区域:厚度、变形、应力)、MX 60x 系列(厚度、电阻)、MX 70x 系列(厚度、翘曲、波形、粗糙度)。
  • 机器人处理系统:全自动晶圆传送,可用于样品测量或分类,径向范围达 14.4",外加末端执行器,高再现性 +/-25μm,低污染,与 1 级洁净室兼容,单臂和双臂,末端执行器按客户规格制造;MTBF >75,000 小时
  • 校准器:高再现性 X/Y +/-50μm,θ +/- 0.04° (3 sigma),MTBF >65,000小时,兼容1级无尘室,可用于3-8 "或8"-12",可选择配备用于晶片 ID 的 OCR 阅读器
  • 工作站:安全放置 2"-12" 载体,根据您的要求安装载体存在传感器,控制面板配有单独的操作和显示元件
  • 其他组件:PC 和 TFT、射频载体 ID 阅读器、电离器、无尘室 1 级过滤系统、装载端口 SMIF、FOUP、灯塔等。
  • 软件:我们所有的 MX 工具系列都使用相同的 Windows 操作软件 MX-NT V2。可通过高度灵活和可重复使用的配方,根据获得的任何特征进行分类,如按厚度或 OCR 代码分组。
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实例

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