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一旦数据不再需要用于处理目的,就会被删除。
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您的需求 - 您的工具。我们的机器人分拣机采用完全模块化的设计原则:通过我们久经考验的 MX 系统进行单独的在线测量、全自动机器人分拣、校准器和承载站、轨道、盒式分拣站等。安全、可重复性和极低的维护时间始终是我们的首要任务。而这一切都离不开超高的吞吐量。
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我们的机器人分拣机可完全满足您的工艺要求。不过,它们都有一些共同的优点:
有哪些模块?非常简单:我们能满足您的需求。符合最高标准:您的要求!当然还有国际校准标准。以下是目前已安装模块和应用的几个示例:
300 毫米晶圆,配有自动搬运机器人、用于取出晶圆的晶圆盒站、预对准器、两个在测量过程后存放晶圆的晶圆盒站。
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300 毫米晶圆,配有自动搬运机器人、轨道、预对准器、测量前后的多个装载口。
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