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MX 604-S

应用

适用于 50-200mm 硅晶片和导电薄膜的快速薄层电阻测量仪。

MX604-S 采用可靠的涡流法测量高欧姆基底上半导体晶片和导电薄膜的薄层电阻。 完全自校准，因此温度和湿度变化可以忽略不计。集成字母数字显示屏。可独立工作，也可通过串行接口连接到 PC，从而收集单个晶片或整批晶片的多次测量数据、平均值或标准偏差。

测量类型

厚度 板材电阻

特点

晶片直径 2" 至 200mm
厚度 最大1000 μm
精度 ±3µm
传感器直径 20mm
有效区域 约 12mm
距边缘距离 最小 10 毫米
传感器与工作台之间的间隙 1400 μm
测量台 300 x 300 毫米
测量时间 0.3 秒
软件 EHMaster

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