MX 2013
应用
用于 200 毫米或 300 毫米标准薄硅片的自动⼏何测量仪。
MX2013 可作为半自动独立工作站使用。它有 37 个测量点，可在 50 秒内测量 300 毫米硅片。它能以高分辨率控制厚度、翘曲度、弯曲度 & SORI（与 Sori 相对应）。可选配 200 毫米晶片测量系统。配有功能强大的MX-NT 操作软件。
用于 200 毫米或 300 毫米标准薄硅片的自动⼏何测量仪。
MX2013 可作为半自动独立工作站使用。它有 37 个测量点，可在 50 秒内测量 300 毫米硅片。它能以高分辨率控制厚度、翘曲度、弯曲度 & SORI（与 Sori 相对应）。可选配 200 毫米晶片测量系统。配有功能强大的MX-NT 操作软件。
