MX 301-AC

应用

简便的单点测厚仪,适用于 30-200 毫米的半导体和金属材料。

MX301-AC 是一款坚固、稳定的仪器,可用于快速、简单的手动测厚。适用于各种硅片、太阳能晶片以及半导体或金属材料。完全自动校准,无需测量块或基准晶片。可独立工作,也可通过串行接口与 PC 连接,从而收集多个测量数据,计算单个晶片或整批晶片的平整度(TTV)、平均值或标准偏差。


测量类型

厚度

特点

晶片直径 最大 200 毫米
厚度精度 ±0.5µm
分辨率 10nm
动态范围 800 微米
厚度范围 默认 200 - 1000 µm
软件 EHMaster

相关产品

向下滚动,查看更多信息

哪种工具
符合我的需求?

您有问题、愿望或订单?
我们很乐意为您提供咨询。


E+H Metrology 承诺保护和尊重您的隐私。我们仅将您的个人信息用于管理您的账户以及提供您所要求的产品和服务。

彼得-米歇尔

+49 (0)721 83118-17
sales(at)eh-metrology.com

 

向下滚动,查看更多信息