MX 604-ST

应用

适用于最大 156 毫米太阳能晶片的厚度和电阻率综合测量仪

MX604-ST 专用于鉴定太阳能晶片。适用于最大 156 毫米的方形晶片和 2 英寸至 200 毫米的圆形晶片。它结合了同时测量厚度和电阻率的传感器。完全自校准,因此温度和湿度变化可以忽略不计。集成字母数字显示屏。可独立工作,也可通过串行接口连接到 PC,从而收集单个晶片或整批晶片的多次测量数据、平均值或标准偏差。


测量类型

厚度 电阻率

特点

晶片直径 2 英寸至 8 英寸
厚度范围 60 - 300 微米或 250 - 750 微米
厚度精度 ± 1µm
传感器直径 20 毫米
有效区域 8 毫米直径
边缘距离 10 毫米
测量时间 0.3 秒
软件 EHMaster

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