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MX 203-6-41-q

应用

用于 100-156mm 太阳能晶片的快速非接触式⼏何测量仪。

高产能：MX203-6-41-q 的 41 个测量点可在最多 8 秒内测量每个晶片。8 秒。它可以控制厚度、弯曲度和翘曲度。通过各种中心框架灵活调整晶片尺寸。配有功能强大的MX-NT 操作软件。

测量类型

厚度 平整度（TTV） 弯曲度 翘曲度 SORI

特点

晶片直径 100毫米、125毫米、156毫米
厚度精度 ±0.5 µm
分辨率 50nm
厚度范围 160 - 700 µm
自动晶片 无
软件 MXNT

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