MX 301-8

应用

适用于 30-200mm 硅晶片的简便单点测厚仪。

MX301 是一款坚固耐用、性能稳定的仪器,用于快速、简单地手动测量各种硅晶片的厚度。可在几秒钟内适应不同的厚度范围。配有定制的可更换垫片,一键式校准非常方便。集成 5 位数显示屏。可独立工作,也可通过串行接口连接到 PC,从而收集多个测量数据,计算单个晶片或整批晶片的平整度(TTV)、平均值或标准偏差。


测量类型

厚度

特点

晶片直径 最大 200 毫米
厚度精度 ±0.5µm
分辨率 10nm
动态范围 800 微米
厚度范围 默认 200 - 1000 微米
可切换测量高分辨率材料
软件 EHMaster

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