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MX20 - 多功能
非接触式晶片⼏何测量仪

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MX20 系列最适用于硅片、太阳能晶片和其他晶片的进料检验、流程鉴定和流程控制。可部分集成到自动化流程中。

MX 20 系列的测量类型：

厚度 平整度（TTV） 弯曲度 翘曲度 薄膜应⼒
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主页 > 产品 > 手动工具 > MX20 系列

MX20 系列
类别
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晶片尺寸
特点
兼容
晶圆特性
晶圆形式
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MX 2012

用于 300 毫米硅晶片的高精度芯片生产⼏何测量仪。

MX 2012-H

用于 300 毫米硅晶片的快速芯片生产⼏何测量仪。

MX 2013

用于 200 毫米或 300 毫米薄硅片和标准硅片的自动⼏何测量仪。

没有匹配？没问题！

我们能够根据各种技术规格定制产品。您的规格是什么？

MX 2018-W

用于 450 毫米硅晶片的自动弯曲度和翘曲度测量仪。

MX 203-4-21

用于 2-4 英寸硅晶片的快速非接触式⼏何测量仪。

MX 203-4-37-Q

用于 2-4 英寸非导电和半绝缘晶片的快速非接触式⼏何测量仪。

MX 203-58-37-B

用于 125-200 毫米薄硅晶片的快速非接触式⼏何测量仪。

MX 203-6-33

用于 100-150 毫米硅晶片的快速非接触式⼏何测量仪。

MX 203-6-33-B

用于 100-150 毫米薄硅晶片的快速非接触式⼏何测量仪。

MX 203-6-33-Q

用于 75-200 毫米非导电和半绝缘晶片的快速非接触式⼏何测量仪。

MX 203-8-37

用于 150 毫米和 200 毫米硅晶片的快速非接触式⼏何测量仪。

MX 203-8-37-B

用于 150 毫米和 200 毫米薄硅晶片的快速非接触式⼏何测量仪。

MX 203-8-49-B

用于 150 毫米和 200 毫米薄硅晶片的细网非接触式⼏何测量仪。

MX 204-48-37

用于 100、150 和 200 毫米硅晶片的自动⼏何测量仪。

MX 204-6-13-V

用于 100-150 毫米薄硅晶片的自动⼏何测量仪。

MX 204-6-33

用于 100 毫米和 150 毫米硅晶片的自动⼏何测量仪。

MX 204-8-21-TKO2

用于 150mm 和 200mm 薄 Taiko 硅晶片的自动⼏何测量仪。

MX 204-8-21-V

用于 150 毫米和 200 毫米薄硅晶片的自动⼏何测量仪。

MX 204-8-37

用于 150 毫米和 200 毫米硅晶片的自动⼏何测量仪。

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