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MX 152/153

应用

用于 125 毫米、156 毫米至 230 毫米太阳能晶片的 OEM 集成式厚度和电阻率测量仪。

MX152/153 是一种在线模块，适用于皮带传送的硅片。它可在自动化生产流程之间测量厚度、平面度（TTV），也可选择测量电阻率和 P/N 值。由测量模块、电子支架和控制计算机组成。测量值将通过以太网和 TCP/IP 传输到主机。

测量类型

厚度 平整度（TTV） 电阻率 P/N 注释

特点

晶片尺寸 125x125 毫米和 156x156 毫米，最大 230 毫米
精度 ±0.5µm
分辨率 0.1 微米
厚度范围 100 - 300 微米
软件 EHMaster

MX 152 和 MX 153

  3 线
厚度		 1 线
厚度		 3 行
薄片阻力		 1 线
纸张电阻		 P/N
MX 152 ✓        
MX 152-PN ✓       ✓
MX 152-R ✓     ✓  
MX 152-R-PN ✓     ✓ ✓
MX 152-3R ✓   ✓    
MX 152-3R-PN ✓   ✓   ✓
           
MX 153-T   ✓      
MX 153-T-PN   ✓     ✓
MX 153-R       ✓  
MX 153-R-PN       ✓ ✓
MX 153-3R     ✓    
MX 153-3R-PN     ✓   ✓
MX 153-RT   ✓   ✓  
MX 153-RT-PN   ✓   ✓ ✓
MX 153-3RT   ✓ ✓    
MX 153-3RT-PN   ✓ ✓   ✓
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