MX 2018-W

应用

用于 450 毫米硅晶片的自动弯曲度和翘曲度测量仪。

MX2018-W 可以测量 450 毫米尺寸的硅片。直立位置测量可避免因重力引起的巨大下垂。通过 73 个测量点,它可以高分辨率地控制中心厚度、弯曲度和翘曲度。我们建议将 MX2018-W 与 MX1018 结合使用,以覆盖所有⼏何特性。在机械⼿分选机中,这两个模块可以同时测量两个晶片,而不会影响产量。随附功能强大的MX-NT 操作软件。


测量类型

厚度 平整度(TTV)

特点

晶片直径 300 毫米、450 毫米
经纱精度 ±5 µm + 读数的 5
经纱精度 ±0.5 µm + 读数的 1
经纱范围 800 µm
自动晶片⼏何测量仪
软件 MXNT

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