MX10 - 高分辨率
硅片测量

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MX10 系列可快速、高精度地测量硅晶片的厚度和平面度 (TTV)。它可以在几秒钟内适应不同的厚度范围。

MX 10 系列的测量类型:

厚度 平整度(TTV)
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MX10 系列
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