MX 204-8-37
应用
用于 150 毫米和 200 毫米硅晶片的自动⼏何测量仪。
MX204-8-37 可作为手动加载的独立工具使用，也可完全集成到自动化机器人系统中。它有 37 个测量点，能以高分辨率控制厚度、弯曲度和翘曲度。还可选配晶圆应力评估功能。通过上游定心站，不同尺寸的晶片无需更换即可使用。配有功能强大的MX-NT 操作软件。
用于 150 毫米和 200 毫米硅晶片的自动⼏何测量仪。
MX204-8-37 可作为手动加载的独立工具使用，也可完全集成到自动化机器人系统中。它有 37 个测量点，能以高分辨率控制厚度、弯曲度和翘曲度。还可选配晶圆应力评估功能。通过上游定心站，不同尺寸的晶片无需更换即可使用。配有功能强大的MX-NT 操作软件。
