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无论是在研磨后的生产过程中,还是在晶片回收过程中进行测试:电阻率都决定着每一个后续加工步骤。
E+H Metrology 提供各种电阻率测量系统:硅片生产过程中的电阻率检测、太阳能硅片或硅块的测量。所有测量均通过涡流完成,快速且完全无接触,无需事先进行材料制备。
通过MX 601测量仪,我们还为砷化镓、磷化铟或氮化镓等半绝缘材料提供了多功能测量系统。
对于晶片生产过程中的质量控制和过程监控而言,测试单张晶片电阻与检测和分拣整批晶片同样重要。
您的测量任务与您的材料和产量要求一样个性化。因此,我们的测量仪在厚度、电阻率或薄片电阻范围的设计上可以满足您的各种需求。
我们还使用涡流技术进行板材电阻测量。我们的系统具有完全的自校准功能,因此温度和湿度波动可以忽略不计。
特别是在最终检测中,检测半导体材料的掺杂情况至关重要,当然,在生产用于光伏应用的高质量太阳能电池时也是如此。
我们的MX608或MX6012系统可在几秒钟内对各种相关值进行概述。我们通过表面光电电压系统来研究掺杂情况。
您有问题、愿望或订单? 我们很乐意为您提供咨询。
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