电气性能
可测量的可靠性更高

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抵抗力

无论是在研磨后的生产过程中,还是在晶片回收过程中进行测试:电阻率都决定着每一个后续加工步骤。

E+H Metrology 提供各种电阻率测量系统:硅片生产过程中的电阻率检测、太阳能硅片或硅块的测量。所有测量均通过涡流完成,快速且完全无接触,无需事先进行材料制备。

通过MX 601测量仪,我们还为砷化镓、磷化铟或氮化镓等半绝缘材料提供了多功能测量系统。

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片材电阻

对于晶片生产过程中的质量控制和过程监控而言,测试单张晶片电阻与检测和分拣整批晶片同样重要。

您的测量任务与您的材料和产量要求一样个性化。因此,我们的测量仪在厚度、电阻率或薄片电阻范围的设计上可以满足您的各种需求。

我们还使用涡流技术进行板材电阻测量。我们的系统具有完全的自校准功能,因此温度和湿度波动可以忽略不计。

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P/N DOTATION

特别是在最终检测中,检测半导体材料的掺杂情况至关重要,当然,在生产用于光伏应用的高质量太阳能电池时也是如此。

我们的MX608MX6012系统可在几秒钟内对各种相关值进行概述。我们通过表面光电电压系统来研究掺杂情况。

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您需要测量哪些特征

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我们很乐意为您提供咨询。


E+H Metrology 承诺保护和尊重您的隐私。我们仅将您的个人信息用于管理您的账户以及提供您所要求的产品和服务。

Heiko Rings

+49 (0)721 83118-16
sensors@eh-metrology.com

 

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