MX 203-8-37

应用

用于 150 毫米和 200 毫米硅晶片的快速非接触式⼏何测量仪。

高产能:MX203-6-33 的 37 个测量点可在最多 8 秒内测量每个晶片。8 秒。它可以控制厚度、弯曲度和翘曲度。还可选配硅片应力评估功能。通过不同的中心框架灵活调整晶片尺寸。配有功能强大的MX-NT 操作软件。


测量类型

厚度 平整度(TTV) 弯曲度 翘曲度

特点

晶片直径 150 毫米、200 毫米
厚度精度 ±0.5 µm
分辨率 50nm
厚度范围 400 - 1000 µm
自动晶片
软件 MXNT

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