MX 204-8-49-q

应用

用于 125-156 毫米太阳能晶片的自动⼏何测量仪。

MX204-8-49-q 可作为手动加载的独立工具使用,也可完全集成到自动化机器人系统中。它有 49 个测量点,能以高分辨率控制厚度、弯曲度和翘曲度。通过上游定心站,不同尺寸的晶片无需更换即可使用。配有功能强大的MX-NT 操作软件。


测量类型

厚度 平整度(TTV) 弯曲度 翘曲度 SORI

特点

晶片直径 125 毫米、156 毫米
厚度精度 ±1 µm
分辨率 0.1 微米
厚度范围 200 - 600 µm
自动晶片⼏何测量仪
软件 MXNT

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