MX 3014

应用

简单的单点厚度测量仪,适用于 200mm 和 300mm 薄硅晶片。

MX3012 是一款坚固、稳定的仪器,可用于快速、简单的手动测厚。特别适用于薄硅片、无框和有框切割带或背磨带。操作简单,无需测量胶带厚度或胶带介电常数。光栅可避免边缘测量错误。完全自动校准,无需量块或基准晶片。内置 5 位数显示屏。可独立工作,也可通过串行接口连接到 PC,从而收集多个测量数据,计算单个晶片或整批晶片的平面度(TTV)、平均值或标准偏差。


测量类型

厚度

特点

晶片直径 200 毫米和 300 毫米
厚度精度 ±0.5µm
分辨率 0.1µm
厚度范围 0 - 1600µm
软件 EHMaster

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