全球纳米观测
超越计量学

概述、洞察力和前景 在一个工艺步骤中:Global Nanoscope 让以前在半导体制造中无法想象的事情变得可以测量。只需 30 秒就能完全测量晶圆或任何反射表面的整个表面,提供可靠的纳米级洞察力,为您的工艺链保驾护航。无论是芯片制造过程中的进料检测,还是晶圆制造过程中的过程控制:Global Nanoscope 让以前无法测量的东西变得清晰可见。

  • 一次性测量整个表面,最大可达 300 毫米,无需缝合
  • 测量过程中无移动部件
  • 纳米级的极高分辨率
  • 市场上最快的全面表面测量
  • 坚固耐用,可抵御地面振动
  • 适用于所有反射表面的创新技术
向下滚动,查看更多信息

优势和特点

Global Nanoscope 集创新技术和多种应用领域于一身,具有公认的优势,如无缝集成性和出色的支持。

  • 全表面测量:为您带来无与伦比的竞争优势:缝合已成为过去。
  • 最快速度:GNS 可在 30 秒内完成基底测量。1-2 分钟后,您就会收到已确定数据的 3D 评估结果。
  • 真正的纳米测绘:GNS 为分析目的提供可靠的纳米高度分辨率。
  • 对振动不敏感:许多高精度计量系统只有在绝对无振动的情况下才能可靠使用。然而,GNS 可抵御现代生产环境中的地面振动和运动干扰。
  • 经济实惠:尽管是高科技产品,GNS 的维护成本却非常低,所有部件都非常坚固耐用。
  • 全自动、可集成:GNS 是全自动测量系统,可用于任何工作流程环境。
  • 咨询和支持:在 GNS 的整个使用寿命期间,我们和当地经销商可为您提供个性化规划、咨询和支持。
向下滚动,查看更多信息

可能的应用

GNS 的应用可能性与其功能范围一样全面。让我们来激发您的灵感!

  • 任何表面评估和分类都可以通过 Global Nanoscope 以非接触方式快速实现,例如
    - 凹点识别
    - 缺陷分析
    - 表面峰谷分析
  • 晶圆制造:用于对晶片制造过程中的许多生产步骤(如研磨、抛光)进行快速、全面的过程控制
  • 芯片制造:Global Nanoscope 特别适用于待处理晶片的快速进料检测。
  • 根据《SEMI M43 晶圆纳米形貌报告指南》进行分析:确定纳米范围内符合标准的细节值。
  • 玻璃和光学行业:所有反射表面都适合通过 Global Nanoscope 进行纳米精度测量。

Global Nanoscope 还可用于医疗技术、能源或研发等许多其他行业。

请向我们的团队咨询您的需求!

向下滚动,查看更多信息

创新技术

您已经了解 Makyoh 方法?我们专有的、经 AMA 批准的先进 Makyoh 技术比以前的测量方法更进一步:

  • E+H Metrology 高级 Makyoh:传统的 Makyoh 系统提供二维灰度图像,显示表面的不规则性。然而,这种表面结构的实际高度对于工业应用来说至关重要,尤其是在晶圆生产等敏感工艺中。因此,传统的 Makyoh 系统只能进行定性测量:通常,标准的 Makyoh 图像非常模糊。
  • 而基于 E+H 高级 Makyoh 的系统则能在一次测量过程中确定表面的真实高度信息。
  • Global Nanoscope 也能提供经典的二维 Makyoh 图像,但分辨率非常高。因此,我们的系统能够进行定性和定量测量。
  • 高级 Makyoh 图像数据可根据需要进行进一步处理:用于检测、复杂的三维分析或通过现有的 IT 景观和控制系统进行评估。
向下滚动,查看更多信息

应用

多功能高端测量系统,用于对 300 毫米以内的所有反射表面进行快速、非接触、非破坏性、静态测量。


特点

厚度 平整度(TTV)

技术数据

晶片直径 最大 300 毫米
动态范围 梯度:±0.14°,弓高达 100 μm
横向分辨率 110 μm
分辨率(高度) 1 nm(一般情况下,50 μm 以下为小弓形)
标准偏差 1 σ ≤ 1 nm (n=31)
边缘排除 1 毫米(凹槽 + 安装)
测量时间 30 秒
计算时间 1 - 2 分钟
振动稳定性 VC-A (~50 μm/s [4 - 80 Hz])
每个晶片的典型数据大小 50 MB(500 MB 完整分析数据)


向下滚动,查看更多信息

"全球纳米镜堪比登月火箭:我们甚至还不知道这款设备将为我们带来的所有应用"。

客户 - 来自2021 年 E+H 客户与合作伙伴调查

向下滚动,查看更多信息

哪种工具
符合我的需求?

您有问题、愿望或订单?
我们很乐意为您提供咨询。


E+H Metrology 承诺保护和尊重您的隐私。我们仅将您的个人信息用于管理您的账户以及提供您所要求的产品和服务。

彼得-米歇尔

+49 (0)721 83118-17
sales(at)eh-metrology.com

 

向下滚动,查看更多信息