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Max.Neg.Pos.FPD (GFLD)、TIR (GFLR)

\(FPD = Focal plane deviation （焦平面偏差）\)

\(TIR = 总指示读数 \)

通过在一个共同的平面上表示所有厚度值，
真空吸盘的数学模拟。通过对
给定的厚度值应用 "最后平方拟合 "算法，可以计算出一个理论平面，它是这些值的最佳
近似值。它被称为焦平面，在每个传感器位置，
，该平面与当地晶片厚度之间存在局部偏差。

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在给定的焦平面偏差值集中找到的极值称为
最大负焦平面偏差和最大正焦平面偏差。总指标
Rating (TIR) 是这两个极值的绝对值之和。

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