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翘曲与索里

根据 SEMI 的 "形状决策树"(Shape Decision Tree),两者之间的差别非常小,
。在 TTV 值较低的情况下,差异实际上可以忽略不计:

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原始的日本 SORI 定义(以及德国 DIN 定义)与
存在严重差异:

晶圆是静止在一个平面上,而不是重力校正!

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