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总距离 (TotDist)

在我们的 MX 203 系列非接触式晶片⼏何测量仪中，对所有
晶片⼏何特性的评估都是基于
嵌入在两个相对的探头板中的多个电容式传感器进行的距离测量，而
测试件的表面则位于两个探头板之间的空气间隙中。
由于
校准程序产生的校正数据，可以假定两个探头板是完全平整的，并且安装在
之间的总距离是恒定的。

\(\text { AvgThk }=\frac{sum T h k(i)}{n}\)

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