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索里 (GFLYFER)

是日语翘曲的意思。根据 JEITA 标准，它表示
晶圆上侧各点之间的最大变化，
，以这些点为基础的最小二乘法拟合平面。E+H 提供特殊的
探测头，可为晶片提供多个固定点，以接近所需的
平面。

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