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形状


从中心厚度值减去晶片边缘厚度值计算出的平均值。

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\( \text { Shape }=\text { CntThk }-\frac{\sum_{i:=1}^{n(\text { Shape })} \operatorname{Th} k(\text { Shape }(i))}{n(\text { Shape })} \)

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